曝中国新规：芯片制造设备至少50％得是国产

事实上，相干主管人士已经向申请者明白表示，50％只是最低基线，而非最终目标。

不过受制于客不雅前提，这一律例不得不存在一些让步，监管部分会采取一事一议的灵活处理方法。

因为长远来看，中国的目标是实现晶圆和芯片制造设备的周全国产化。

比如先辈制程工艺晶圆厂会获得一些宽贷豁免条目，毕竟国产光刻机等还存在很大年夜差距。

总的来说，这项请求对成熟工艺芯片临盆线的履行标准最为严格，而针对先辈制程工艺临盆线，会赐与不合程度的临时性宽贷豁免。

数据显示，本年以来，国有背景的中国芯片制造商累计采购了421台（套）国产光刻机及其零部件，总金额约8.5亿元。

ASML 2024财年第四时度财报数据显示，用于成熟工艺芯片临盆的干式氟化氩(ArF)光刻机，单台均价约2790万美元，氟化氪(KrF)光刻机单台均价约1446万美元，而用于先辈工艺芯片临盆的浸没式DUV ArF光刻机单台均价高达8250万美元。

中国国产光刻机今朝仍以干式ArF、KrF机型为主。

2024年全年，ASML出货了52台KrF步进扫描光刻机、65台i线步进光刻机、28台干式ArF光刻机、129台浸没式ArF光刻机、44台EUV光刻机。