中芯国际在无EUV设备前提下量产5纳米级N+3工艺 华为麒麟9030已采取
中国晶圆代工企业中芯国际（SMIC）正式实现其最新5纳米级工艺节点SMICN+3的量产，被外界视为目前中国境内最先进、且完全在无极紫外（EUV）光刻设备条件下量产的半导体制程。该节点依托深紫外（DUV）光刻技术完成芯片制造，绕开了对EUV设备的依赖。
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